【英文名】Hight pure Niteogen
【純度】99.999%
【執行標準】GB/T 8979-2008
【規格】40L無縫鋼瓶
【物理性質】
無色無臭無味無毒的惰性氣體。氮氣占大氣總量的78.12%(體積分數),是空氣的主要成分。在標準大氣壓下,冷卻至-195.6℃時,變成沒有顏色的液體,冷卻至-218.8℃時,液態氮變成雪狀的固體。
【用途】
在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
【應急措施】
迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚,遇點火源著火爆炸。用排風機將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。用霧狀水保持火場中容器冷卻?捎渺F狀水噴淋加速液氮蒸發,但不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮,感到呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。
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