【英文名】High purity oxygen

【純度】99.999%

【執行標準】GB/T 14599-2008

【規格】40L無縫鋼瓶

【用途】

主要用于半導體制造用等離子蝕刻、校正氣、標準氣、在線儀表標分準氣、醫療氣、光導纖維的制備。高純氧是電子工業常用的氣體之一，用于大規模和超大規模集成電路及半導體器件生產的氧化，如集成電路芯片生產中的氧化工藝，也用于化學氣相沉積和擴散等離子蝕刻和等離子剝離，還用于光導纖維制備等。也適用于對氧氣純度要求較高的其它領域。

【注意事項】

不允許在高于60℃的溫度下運輸和貯存已充氧的容器。運輸和貯存時要旋緊鋼瓶瓶帽。氧應貯存在專門的地方，與可燃氣體分開存放，并且不得靠近火源。在露天場地貯存時，應搭遮棚，以防雨雪和陽光曝曬。壓縮氧氣與油脂接觸，溫度超過油脂燃點時可發生自燃。充裝氧氣的容器，禁止用于充裝其它氣體。在裝卸、運輸和貯存鋼瓶時，應采取措施以防鋼瓶跌落、損壞和被油污染。操作者剛剛離開富氧環境后，不允許使用明火或走近火源.